首页  ꄲ  低温烧结连接机  ꄲ  SAB3510

SAB3510

低温烧结连接机
ꄴ前一个： 无
产品-6.20-3510
넳 넲
  • 控压
    各芯片独立控压
  • 最大烧结压力
    30MPa
  • 控压稳定性
    ±0.5MPa
  • Chip最小间隙
    0.4mm
  • 最大有效烧结面积
    350mm*270mm
  • 最高烧结温度
    300℃
  • 温度均匀性
    ±3℃
  • 压头控温稳定性
    ±1℃
  • 最大合模力
    1000kN
  • 活化气体最大流量
    50L/min
  • 预热温度
    RT~150℃
  • 预热温度稳定性
    ±1℃
  • 冷却温度
    小于50℃
  • 氧含量
    小于50ppm
  • 活化方式
    甲酸催化活化
ꄲ后一个： 无
뀖