首页  ꄲ  表面处理设备  ꄲ  等离子TRIM机  ꄲ  SAB9500

SAB9500

团簇等离子抛光机
ꄴ前一个： 无
产品-6.20-9500
넳 넲
  • 晶圆尺寸
    ≤8inch
  • 上料模式
    手动上下料
  • 传输系统
    手动/定制工装
  • 去除效率
    70 Å*cm²/s @SiO₂
  • 支持工艺气体
    Ar/SF6/O₂/He或其他混合气体
  • 束流强度
    ＞100μA @Ar
  • 束斑尺寸
    半高宽＜10mm
  • 团簇离子能量
    20/60keV
ꄲ后一个： SAB9510
뀖