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SAB7510

单片清洗机
ꄴ前一个： 无
产品-6.20-7510
넳 넲
  • 晶圆尺寸
    直径100mm/150mm/200mm
  • 晶圆厚度
    厚度0.25-1.4mm
  • 晶圆材料
    Si, SiO₂,LT,LN,Sapphire,SiC等
  • 清洗部位
    双面清洗
  • 传输系统
    机械臂自动传输
  • 清洗方式
    可兼容多种化学药液，集成二流体、臭氧水、PVA刷洗等功能
  • 产量
    >12pcs/hr
  • 上料模式
    Cassette自动上下料
  • 清洗后particle
    10以内(@≥0.3um)
  • 清洗后表面金属
    ≤5e10 atoms/cm²
ꄲ后一个： 无
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