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将成百上千的原子聚集成簇,经过电场加速后作用于材料表面,实现超精密抛光或膜厚修整(TRIMMING)。相比于常规等离子束,具有低损伤、无热效应等优势。应用领域涵盖超硬材料(如金刚石)、复杂曲面、光学产品抛光,功能结构表面损伤层去除,半导体薄膜超精密TRIMMING。

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