设备特点
规格参数
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项目指标
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样品尺寸上：0.3*0.3~50*50mm（可选100*100mm）
下：2*2~50*50mm（可选100*100mm） -
压力范围2~2000N/3000N
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控压稳定性±2N
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键合后精度≤±1μm；≤±500nm；≤±300nm
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压头控温范围RT~450℃
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压头控温稳定性±0.5℃
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压头升温速率(RT-450℃)6s@50*50mm; 2s@32*32mm
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冷却方式气体冷却
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键合腔体气氛惰性气氛、氢自由基环境
