SAB9510
聚焦超级原子束Trimming机
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晶圆尺寸≤8inch
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上料模式Cassette自动上下料
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晶圆校准Aligner
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去除效率800Å*cm²/s @Si
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支持工艺气体Ar/SF6/O₂/He或其他混合气体
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束流强度高于100μA@Ar
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束斑尺寸半高宽＜5mm
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团簇离子能量20/60keV
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