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SAB9510

聚焦超级原子束Trimming机
ꄴ前一个： SAB9500
产品-6.20-9510
넳 넲
  • 晶圆尺寸
    ≤8inch
  • 上料模式
    Cassette自动上下料
  • 晶圆校准
    Aligner
  • 去除效率
    800Å*cm²/s @Si
  • 支持工艺气体
    Ar/SF6/O₂/He或其他混合气体
  • 束流强度
    高于100μA@Ar
  • 束斑尺寸
    半高宽＜5mm
  • 团簇离子能量
    20/60keV
ꄲ后一个： 无
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