高端键合装备
专注高端键合装备研发,核心模块自主可控。设备涵盖多种类型,对准精度高、兼容性广,可广泛应用于Chiplet集成、器件制作(MEMS等)、键合衬底及显示面板封装等前沿场景。
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    SiC、LTOI等复合衬底材料制备SAB61系列=超高真空常温键合设备
    高散热需求的异质材料集成SAB61系列=超高真空常温键合设备
    柔性电子、光学器件、微控流器件的PI、玻璃等材料键合SAB61系列=超高真空常温键合设备
    高灵敏压力传感器、MEMS结构的制作SAB61系列=超高真空常温键合设备
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    SOI复合衬底制备SAB62系列-亲水性/混合键合设备
    压电光电复合衬底材料(LTOI、LNOI)制备SAB62系列-亲水性/混合键合设备
    InP/GaAs和SiO2的异质集成SAB62系列-亲水性/混合键合设备
    3D堆叠图像传感器中的像素层和信号处理层的互联SAB62系列-亲水性/混合键合设备
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    MEMS领域中Si晶圆和玻璃封帽晶圆的键合SAB63系列-热压阳极键合设备
    MEMS领域中通过金属层进行密封键合SAB63系列-热压阳极键合设备
    Micro-LED领域中GaN外延片和Si晶圆的键合SAB63系列-热压阳极键合设备
    通过胶层进行热压键合SAB63系列-热压阳极键合设备
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    先进封装(扇出型封装、2.5D和3D集成)SAB64系列-临时键合&解键合设备
    射频器件SAB64系列-临时键合&解键合设备
    功率器件SAB64系列-临时键合&解键合设备
    CIS器件SAB64系列-临时键合&解键合设备
异质材料集成代工平台
青禾晶元,赋能从实验室到量产的每一纳米

青禾晶元工艺代工平台集工艺加工、动力及辅助设施于一体,拥有十级和百级洁净间,占地超2000平米,配备百余台国际最先进设备,拥有50余名专业工程师。平台以H-cut、减薄键合路线工艺为基础,专注半导体及泛半导体材料的异质集成,覆盖4/6/8英寸全尺寸晶圆加工需求,提供高定制化服务、具备完备工艺与稳定质量,助力科研与企业突破芯片研发瓶颈。

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青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司是中国半导体键合集成技术的高新技术企业。公司核心业务涵盖高端键合装备研发制造与精密键合工艺代工,技术广泛应用于先进封装、半导体器件制造、晶圆级异质材料集成及MEMS传感器等前沿领域,通过“装备制造+工艺服务”双轮驱动,构建全产业链解决方案,已成功开发四大自主知识产权产品矩阵:超高真空常温键合系统、混合键合设备、热压键合装备及配套工艺服务。通过持续技术创新,公司致力于为全球半导体产业链提供高精度、工艺稳定、高性价比的键合装备与方案,助力战略新兴产业崛起。
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