技术优势
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- 光学对准与压力控制技术
- 采用先进光学对准与压力控制技术,实现微米级键合精度,支持10-100微米的互联间距;
01- 可靠无助焊工艺
- 支持无需助焊剂(Fluxless TCB)工艺,相比于普通TCB,无助焊剂残留,互联更可靠;
02- 高质量IMC界面
- 可形成均匀的金属间化合物(IMC)界面,减少空洞和微裂纹,确保键合点导电性、机械强度及长期可靠性;
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- 低成本高兼容性
- 相比于混合键合,对芯片设计、芯片表面质量、崩边、颗粒要求更低,对设备兼容性更高,投入更小;
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