技术优势
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- 离子束整体动能高，但每个粒子的平均能量极低，仅作用于浅表层，可避免损伤。
01
- 可实现原子级别的逐层剥离，显著减少热影响区和应力积累。
02
- 适用于超精密抛光，并适用于复杂曲面。
03
将成百上千的原子聚集成簇，经过电场加速后作用于材料表面，实现超精密抛光或膜厚修整（TRIMMING）。相比于常规等离子束，具有低损伤、无热效应等优势。应用领域涵盖超硬材料（如金刚石）、复杂曲面、光学产品抛光，功能结构表面损伤层去除，半导体薄膜超精密TRIMMING。
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