设备特点
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- 全尺寸兼容
- 适用于不同尺寸样品的抛光需求，包含不规则形状样品；
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- 高可靠、长寿命离子源
- 自主开发的离子源可稳定输出给定的能量，长时间工作稳定可靠；
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- 高精密运动平台
- 通过高精密运动平台精确控制离子束在样品上的入射位置和角度；
规格参数
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项目指标
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晶圆尺寸2-12寸及不规则样品
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上料模式手动上下料
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传输系统手动/定制工装
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去除效率60keV：800 Å*cm2/s@SiO2
20keV ：40 Å*cm2/s@SiO2 -
支持工艺气体Ar/SF6/O2/He或其他混合气体
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束流强度＞100μA @Ar
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束斑尺寸半高宽<10mm
