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TFLN/TFLT衬底

TFLN/TFLT(绝缘衬底上钽酸锂/铌酸锂薄膜),通过智能剥离方式制备的高质量单晶薄膜。TFLN凭借其卓越的电光特性(r33≈30-80 pm/V)成为高速光调制器(100GHz+)和量子光学器件的首选材料,其强二阶非线性效应(χ(2))更可实现高效波长转换和纠缠光子对产生。TFLT具有更优的宽谱透光性,适用于中红外传感应用,其更高的抗光损伤阈值(>500MW/cm²)和优异的热稳定性(dn/dT≈1.5×10⁻⁵/K)使其在高功率光学系统中更具优势。两种材料均具备与CMOS工艺的兼容性,TFLN更侧重高速通信和量子光学,TFLT则在红外光电和声光混合系统中表现突出,共同推动着下一代集成光子器件的发展。

TFLT衬底


6寸 TFLN衬底

8寸 TFLN衬底

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